VIP-medlem
Ultrahögupplöst utsläpps skannelektronemikroskop SU8600-serien
Med utvecklingen av snabb datainsamling och databehandlingsteknik har elektronmikroskop kommit in i en era där man inte bara värderar datakvaliteten u
Produktdetaljer
Ultrahögupplöst utsläpps skannelektronemikroskop SU8600-serien
Med utvecklingen av snabb datainsamling och databehandlingsteknik har elektronmikroskop kommit in i en era där man inte bara värderar datakvaliteten utan också dess insamlingsprocess. SU8600-serien bygger på Regulus 8200-seriens högkvalitativa bild, stor stråleanalys och kallfältsavbildningsteknik för lång stabil drift, samtidigt som den ökar kraftigt kapaciteten för hög flöde och automatisk datainsamling.
- *
- Enhetsbilder innehåller alternativ.
-
Egenskaper
-
Specifikationer
Egenskaper
Egenskaper
Ultrahögupplöst bild
Hitachis högljuskälla garanterar ultrahögupplösta bilder även vid ultralåg landningsspänning.
Exempel på RHO-zeolit observeras under spänningsförhållanden på 0,8 kV. Den vänstra bilden är partikeln som helhet, den högra bilden är en förstorad bild, och den fina trappstrukturen på partikeln är tydligt synlig. Lågspänningsobservationer är effektiva för att minska elektronstrålskador och få information om ytans form.
Prov tillhandahålls av: Japan Industrial Technology Integrated Research Institute Mr. Uemura Jiada
Låg acceleration spänning tillbaka spredning bild med hög futning
3D NAND-skärsövervakning;
Under låga accelerationsspänningsförhållanden kan bakspridning av elektroniska signaler tydligt visa skillnaden mellan skiktet av kiseloxid och skiktet av kiselnivrid.
3D NAND-skärsövervakning (accelerationsspänning: 1,5 kV)
Snabb BSE-bild: Ny typ av blinkande kroppsbakspridning (OCD)*
Tack vare användningen av den nya typen av OCD-detektor kan Fin-FET fortfarande observera en tydlig djup strukturbild även om skanningen tar mindre än en sekund.
Interna strukturella observationer av 5 nm process SRAM (accelererad spänning: 30kV, skanningstid < 1 sekund)
Avancerade automatiseringsfunktioner*
Med EM Flow Creator kan kunderna skapa automatiserade arbetsflöden för kontinuerlig bildinsamling. EM Flow Creator definierar olika SEM-funktioner som grafiska moduler, såsom inställning av förstoring, flyttning av provpositioner, justering av fokusavstånd och ljus-mörk kontrast. Användaren kan dra dessa moduler i en logisk ordning till ett arbetsprogram med en enkel mus. Efter felsökning och bekräftelse kan programmet automatiskt få högkvalitativa, reproducerbara bilddata vid varje samtal.
Flexibelt användargränssnitt
Native stöd för dubbla skärmar för flexibel och effektiv drift. 6 kanaler visar och sparar samtidigt, vilket möjliggör snabb observation och uppsamling av flera signaler.
1-, 2-, 4- eller 6-kanals signaler kan visas samtidigt på samma skärm och kan bytas mellan SEM-detektorer samt provkammare och navigeringskameror. Arbetsutrymmet kan utökas genom att använda två skärmar, anpassningsbart användargränssnitt för ökad produktivitet.
Specifikationer
| Modell | SU8600-serien | |
|---|---|---|
| Elektroniska optiska system | Sekundär elektronisk upplösning | 0.6 nm@15 kV |
| 0.7 nm@1 kV * | ||
| Förstör | 20 to 2,000,000 x | |
| Elektroniska vapen | Elektronikkälla för kallfältsläppning, stöd för flexibel blinkande funktion, inklusive anodsugningssystem. | |
| Accelerationsspänning | 0.5 to 30 kV | |
| Landningsspänning | 0.01 to 20 kV | |
| Detektor | (delvis valfritt) | Uppre detektor (UD) |
| UD ExB energifilter med SE/BSE-signalblandning | ||
| Nedre detektor (LD) | ||
| Toppdetektor (TD) | ||
| TD energifilter | ||
| Elektronendetektor för bakspridning i spegeln (IMD) | ||
| Halvledare bakspridning elektron detektor (PD-BSED) | ||
| Nya blinkande kroppsbaserade bakscattered elektrondetektorer (OCD) | ||
| Katod fluorescensdetektor (CLD) | ||
| Skanningsdetektor (STEM-detektor) | ||
| Bilagor | (delvis valfritt) | Navigationskamera, provkammarkamera, röntgenenergispektrometer (EDS), bakspridning elektrondiffraktionsdetektor (EBSD) |
| Programvara | (delvis valfritt) | EM Flow Creator, HD Capture (upp till 40 960 x 30 720 pixlar) |
| Provställ | Motorns drivaxel | 5-axels motordrift (X/Y/R/Z/T) |
| Motorns drivaxel | X：0~110 mm | |
| Y：0~110 mm | ||
| Z：1.5~40 mm | ||
| T：-5~70° | ||
| R：360° | ||
| Provrummet | Provstorlek | Maximal diameter: 150 mm |
- *
- I försämringsläge
Relaterade produktkategorier
- Fokuserad jonstrålesystem (FIB/FIB-SEM)
- TEM/SEM provförbehandling
Onlineförfrågan
-
Kontakter
-
Företag
-
Telefon
-
E-post
-
WeChat
-
Kontrollkod
-
Meddelandeinnehåll
-