• Hög precision ±1,0% inställningspunkt
  Linjäriteten hos denna massflödesstyrare kompenseras av en polynomial approximationskurva och uppnår hög precision inom flödesstyrningsområdet. För att förbättra den faktiska gasnoggrannheten mäts kalibreringsdata för olika processgaser med ett standardgasmätsystem från HORIBA STEC.
• Höghastighetssvar
  Med ett "variabelt PID-system" kan en sekund svara mellan två inställningspunkter. Variabel PID förändras ständigt beroende på inställningarna för flödespunkten. Optimera PID-koefficienten vid förändringar i flöde och gas i full skala.
• Månggaser/flerskaliga lösningar
  Konfigurationsprogramvaran gör det enkelt och snabbt att ändra specifikationer. En viktig egenskap är att ändringar kan göras utan att massflödeskontrollen behöver tas bort från gaskontrollpanelen eller rörledningen. Minskar antalet nödvändiga reservflödeskontrollerare för att spara tid och kostnader.

SEC-Z500X massflödeskontroller är lämpliga för olika applikationer och tillverkning av halvledare.