Den nya typen Pura Plus är speciellt utformad för de senaste förändringarna i waferindustrins krav på utrustningsstorlekar och indikatorer. Pura Plus är en online-spårfuktsändare som är flera gånger installerad i en halvledarfabrik som leder till slutet av gasförsörjningen på produktionslinjen för att övervaka användningen av ultrarena inerta gaser. Distributionen av gassystem inom fabriken är komplex och involverar många grenar, noder och användningspunkter. Därför efter en vanlig fuktighetsövervakningspunkt kan fuktinnträngning påverkas nedströmsanvändningen på grund av spår av läckage, ineffektiv systemdesign, komponentfel eller processfel. Pura Plus, som är installerad i distributionssystemet, ger snabb responsindikation vid 20 ppb fuktighetsnivå. Svarstiden för en förändring på 1 ppb är mindre än en minut. Höjdpunkter Snabba svar på fluktuationer i fuktighet på ppb-nivå Känslighet för låg våtnivå (<1 ppb) Helt nytt koncept för installation av flera mätpunkter Låga underhållskrav Statusindikator för signallampor Kan ställa in varnings- och larmpunkter Modbus nätverkskompatibel Multikanals programvara för fjärrkontrollsgränssnitt (UHP) Inspektion av rörledningar för ultrarena gaser
Tekniska indikatorer
Svarshastighet < 1 min 20 ppb Svartid för 1 ppb flukt i fuktighet Fuktighetsmätning 1 ppb till 20 000 ppm Tryckområde 0 till 10 bar Tryckståndsnivå 300 bar Läckage test 0-9 mbar l/s Arbetsflödesområde 1 ~ 10 l / min Arbetstemperatur 5 till 40 ° C Förvaringstemperatur 30 till 70 ° C Strömförsörjning 20 till 28 V DC Strömförbrukning 5 W högst Extern säkerhetsklass 500 mA snabb smältning Datautgång Modbus ASCII två trådar RS485 Varning och alarm 2 vägar Maximal spänning 40 V likström Största ström 100 mA Material för gaskontakt Husmaterial Rostfritt stål AISI 316L, elektriskt polerad inre yta <10 Ra Sensorstruktur Aluminiumelektrolyt, överguldskydd, nedre aluminiumskikt Inre volym 4,4 cm³ Vikt 450g Gasvägsgränssnitt 1/4" videospelare Elektriska gränssnitt 9-nåls D-typ m-gränssnitt Elektromagnetisk kompatibilitet EN50081-2 och EN50082-2