Olympus Halvledare/FPD Inspektionsmikroskop MX63 och MX63L är optimerade för högkvalitativ inspektion av skivor upp till 300 mm, plattskärmar, kretskort och andra stora prover. Deras modulära design ger dig möjlighet att välja komponenter som behöver skräddarsy systemet för din applikation. Olympus Halvledare/FPD Inspektionsmikroskopi kombinerar Olympus Stream bildanalysprogramvara för att förenkla hela ditt arbetsflöde, från observationer till skapande av rapporter.

Främsta analysverktyg

MX63-seriens mångsidiga observationsfunktioner ger tydliga, tydliga bilder, så att användaren kan upptäcka brister i proverna på ett tillförlitligt sätt. Den nya belysningstekniken och bildinsamlingsalternativen i Olympus Stream-bildanalysprogramvaran ger användarna fler alternativ för att utvärdera sina prover och dokumentera sina resultat.

Det osynliga blir synligt: Blanda observation och förvärv

Hybrid observationsteknik skapar unika observationsbilder genom att kombinera mörka fält med en annan observationsmetode, till exempel ljus fält, fluorescens eller polarisering. Användare av blandade observationer kan se brister som är svåra att se med ett vanligt mikroskop. Circular LED-belysning för observation av mörkt synfält har en riktningsmässig mörkt fältsfunktion där bara en kvadrant belyses vid en given tid. Detta minskar halon i provet och hjälper till att visualisera ytan av provet.

Halvledarchips struktur

Litografiska rester på halvledarskips

Skapa panoramabilder enkelt: Instant MIa

Med Multiple Image Alignment (MIA) kan användaren snabbt och enkelt sammanfatta bilden genom att flytta KY-knappen i ett manuellt skede, medan en elektrisk plattform inte behövs. Olympus Stream-programvaran använder mönstrigenkänning för att generera panoramabilder som ger användaren en bredare bild.

Skapa alla fokusbilder: EFI

Funktionen Extended Focus Imaging (EFI) i Olympus Stream fångar bilder av prover som sträcker sig längre än målets fokusdjup och lägger ihop dem för att skapa en fullt fokuserad bild. EFI kan utföras manuellt eller elektriskt med Z-axeln och skapar ett höjddiagram för enkel strukturell visualisering. Det är också möjligt att skapa EFI-bilder offline på strömmande skrivbord.

Fånga ljusa och mörka områden med HDR

Med avancerad bildbehandling justerar High Dynamic Range (HDR) skillnaden i ljusstyrkan i bilden för att minska bländningen. HDR förbättrar den visuella kvaliteten på digitala bilder, vilket hjälper till att generera professionella rapporter.

Från grundläggande mätning till analys

Mätning är avgörande för kvalitets- och processkontroll och kontroll. Med detta i åtanke innehåller även Olympus Stream-paketet på grundnivå en komplett interaktiv mätfunktionsmeny där alla mätresultat sparas i en bildfil för ytterligare dokumentation. Dessutom erbjuder Olympus Flow Materials Solutions ett intuitivt, arbetsflödesorienterat gränssnitt för komplex bildanalys. Med ett klick på en knapp kan bildanalysuppgifterna utföras snabbt och noggrant. Med en betydande minskning av behandlingstiden för upprepade uppgifter kan operatören fokusera på handkontrollen.

Rapportskapande

Det tar oftast längre tid att skapa rapporter än att fånga bilder och mätningar. Olympus Stream-programvaran ger intuitiv rapporteringsskapande för att generera intelligenta och komplexa rapporter upprepade gånger baserat på fördefinierade mallar. Redigeringen är enkel och rapporterna kan exporteras till Microsoft Word eller PowerPoint-programvaran. Dessutom gör rapporteringsfunktionen i Olympus Stream-programvaran det möjligt att digitalt skala och förstora bildförvärv. Rapportfilen är en rimlig storlek för att underlätta datautbyte via e-post.

Alternativ för oberoende kamera

Med DP22- eller DP27-mikroskopkameror är MX63-serien ett avancerat oberoende system. Kameran kan styras av en kompakt låda som bara kräver mindre utrymme, vilket hjälper användaren att få ut det mesta av laboratorieutrymmet samtidigt som den fångar tydliga bilder och utför grundläggande mätningar.

Stöd för Cleanroom Conformity

MX63-serien är utformad för att fungera i renrum och bidrar till att minska risken för föroreningar eller skador på prover. Systemet har en ergonomisk design som hjälper användaren att vara bekväm även under långvarig användning. MX63-serien uppfyller internationella specifikationer och standarder, inklusive halv S2/S8, CE och UL.

Valfri chipladdarintegrering - AL120-system*

En valfri chipladdare kan anslutas till MX63-serien för att överföra silikon- och föreningshalvledare från kassetta band till mikroskopsfasen utan att använda pincet eller stav. Utmärkt prestanda och tillförlitlighet möjliggör effektiva fronta och bakre makrokontroller, medan lastaren bidrar till att öka produktiviteten i laboratoriet.

MX63 i kombination med Al120-chipladdare (200 mm-version)*E120 är inte tillgänglig i EMEA.

Snabb rengöringskontroll

MX63-serien uppfyller kontrollen av dammfria rum. Alla motoriserade delar är skyddade och antistatisk behandling tillämpas på mikroskopsramar, rör, andningsskydd och andra delar. Den motoriserade näsvingen roterar snabbare än den manuella näsvingen, vilket minskar inspektionstiden samtidigt som operatörens händer hålls under skivan och minskar potentiella föroreningar.

Systemdesign för effektiv observation

Tack vare kombinationen av den inbyggda kopplingen och XY-knappen kan XY-klassen utföra både grov och fin rörelse samtidigt. Denna fas hjälper till att observera effektivitet, även för stora prover, såsom 300 mm chip.Ett brett utbud av lutande observationsrör gör det möjligt för operatören att sitta under mikroskopet i en bekväm ställning.

Acceptera alla chipstorlekar

Systemet är kompatibelt med olika typer av 150 - 200 mm och 200 - 300 mm wafer hållare och glasplattor. Om storleken på skivan ändras på produktionslinjen kan mikroskopets ram ändras till en mindre kostnad. Med MX63-serien kan olika faser användas för att rymma inspektionslinjer på 75 mm, 100 mm, 125 mm och 150 mm chip.

Intuitiv mikroskopskontroll: bekväm och enkel att använda

Inställningen av mikroskopet är enkel att använda och gör det lätt för användaren att justera och reproducera systeminställningarna.

Hitta fokus snabbt: Fokuseringshjälp

Att sätta in fokushjälpmedel i en optisk väg gör det enkelt och exakt att fokusera på prover med låg kontrast, till exempel naken.

Enkel återställning av mikroskopinställningar: kodad hårdvara

Kodningsfunktionen kombinerar MX63-seriens hårdvaruinställningar med Olympus Stream-bildanalysprogramvara. Observationsmetoder, belysningsstyrka och förstoring registreras automatiskt av programvaran och lagras i de relevanta bilderna. Eftersom inställningarna är lätta att reproducera kan alla operatörer utföra samma kvalitetskontroller med minimal utbildning.

Ergonomisk kontroll för snabbare och bekvämare drift

Kontrollenheten för att ändra målet och justera ljusanläggningen ligger under mikroskopet, så att användaren inte behöver släppa fokusknappen eller flytta huvudet från glasögonen under användningen.

Snabbare observationer med ljusstyrkeshanterare och automatisk aperturkontroll

Under ett normalt mikroskop måste varje observatör justera ljusstyrkan och bländan. Användare av MX63-serien kan ställa in ljusstyrka och bländningsförhållanden för olika förstorings- och observationsmetoder. Dessa inställningar kan enkelt återkallas, vilket hjälper användaren att spara tid och bibehålla utmärkt bildkvalitet.

Ljusstyrkeshanterare

Vanlig ljusstyrka	När du ändrar förstoringsmultiplen eller observationsmetoden blir bilden för ljus eller mörk.
Ljusstyrkeshanterare	När du ändrar förstoringsmultiplen eller observationsvärdet justeras ljusstyrkan automatiskt för att skapa en utmärkt bild.

Automatisk aperturkontroll

Kvalitetskontroll för optisk och digital bildbehandling

Olympus historia att utveckla högkvalitativ optik och avancerade digitala avbildningsförmågor har visat rekord för optisk kvalitet och mikroskop som ger utmärkt mätnoggrannhet.

Utmärkta optiska egenskaper: Förvågsdifferenskontroll

Objektivets optiska egenskaper påverkar direkt kvaliteten på den observerade bilden och analysresultaten. Olympus UIS2 högförstoringsmål är utformade för att minimera förevågsbildskillnader och ge tillförlitliga optiska prestanda.

Dålig vågfront Bra vågfront (UIS2-mål)

Konsekvent färgtemperatur: hög intensitet vit LED-belysning

MX63-serien använder en LED-ljuskälla med hög intensitet för reflekterande och transmiterande belysning. LED upprätthåller en konsekvent färgtemperatur oavsett intensitet för att säkerställa tillförlitlig bildkvalitet och färgreplikation. LED-system ger hög effektivitet och lång livslängd belysningsmaterial som är lämpliga för materialvetenskapsapplikationer.

Precis mätning: automatisk kalibrering

Liksom digitala mikroskop är automatisk kalibrering tillgänglig när Olympus Stream-programvaran används. Automatisk kalibrering hjälper till att eliminera mänsklig variabilitet under kalibreringsprocessen, vilket leder till mer tillförlitliga mätningar. Automatisk kalibrering Beräknar automatiskt korrekt kalibrerade algoritmer från genomsnittet av flera mätpunkter. Detta minimerar skillnaderna som introduceras av olika operatörer och upprätthåller konsekvent noggrannhet, vilket förbättrar tillförlitligheten av regelbundna verifieringar.

Helt tydlig bild: bildskuggkorrigering

Olympus Stream-programvaran har skuggkorrigering för att passa skuggorna i bildens hörn. När den används tillsammans med intensitetströskelinställningar ger skuggkorrigeringen en mer noggrann analys.

Halvledarchip (binära bilder)

Helt anpassningsbar

MX63-serien är utformad för att ge kunderna möjlighet att välja olika optiska komponenter för individuella inspektions- och applikationsbehov. Systemet kan utnyttja alla observationsmetoder. Användare kan också välja mellan ett brett utbud av Olympus Stream-bildanalyspaket för att tillgodose individuella bildinsamlings- och analysbehov.

Båda systemen anpassar sig till olika provstorlekar

MX63-systemet kan rymma chips upp till 200 mm, medan MX63L-systemet kan hantera chips upp till 300 mm med samma små fotavtryck som MX63-systemet. Den modulära designen gör det möjligt att anpassa mikroskopet efter dina specifika krav.

Infraröd kompatibilitet

Infraröda objektiv kan utföras med hjälp av infraröda objektiv, vilket gör det möjligt för operatören att utan skador upptäcka insidan av en IC-chip som är förpackad och installerad på en PCB, utnyttjande egenskaperna hos infraröd transmiterande silikon. 5X till 100X infraröda mål kan korrigeras med färgstillskillnad genom närinfraröd synlig våglängd.

MX63-serien används inom tillämpningsområden för reflekterande ljusmikroskop. Dessa applikationer är ett exempel på några metoder som används systematiskt för industriell kontroll.

Infraröd (IR) används för att hitta andra brister på IC-chip och silikonenheter på glas.

Polariserat ljus används för att avslöja materiens struktur och kristalls tillstånd. Det är lämpligt för inspektion av chip och LCD-struktur.

Differential Interference Contrast (DIC) används för att hjälpa till att visa skillnader med små prover. Det är idealiskt för universitetsinspektioner prover med höga skillnader såsom minuter magnethuvud, hårddisk media och polerade chips.

Mörka fält används för att upptäcka små repor eller defekter på provet eller för att upptäcka provet med en spegel (t.ex. chip). Användare av blandad belysning kan se mönster och färger.

Fluorescens används i prover som emitterar ljus vid belysning med speciellt utformade filter. Detta används för att upptäcka föroreningar och fotoresistensrester. Blandad belysning gör det möjligt att observera fotoresistensrester och IC-mönster.

Denna observationsteknik är lämplig för genomskinliga prover som LCD, plast och glasmaterial. Blandad belysning gör det möjligt att observera filterfärger och kretsmönster.

Konfigurationsparametrar för Olympus Halvledare/FPD Inspektionsmikroskop Lösning MX63 / MX63L

		MX63	MX63L
Optiska system		UIS2 optiskt system (oändlig fjärrkorrigering)
Visa mikro Spegel maskin ställning	Reflekterad belysning	LED-lampa, 12V100W halogenlampa, 100W kvicksilver lampa Belysning: ljus och mörkt Inbyggd elektrisk apertur ljus append Observationssätt: ljus fält, mörkt fält, differentiell interferens (DIC), enkel polarisering, fluorescens, infraröd
	Transmitterande ljusbelysning	Transmitterande belysning: MX-TILLA eller MX-TILLB - MX-TILLA::Apens med apertur NA0,5 - MX-TILLB: Apens med apertur NA0.6 Ljuskälla: LG-PS2 (halogenlampa 12/V100 W) Observationssätt: ljus fält, enkel polarisering
	Fokusera	Sträcka: 32 mm Finjusteringssträcka per omgång: 100 μm Zui liten skala: 1 μm Med övre begränsare för vridmomentjustering av grovt handtag
	Maximal belastning (inklusive stativ)	8 kg	15 kg
Utsikt Tcha cylinder	Bred synvinkel (FN 22 mm)	Precis som det tredje ögat: U-ETR4 Rekta, lutande tre ögon: U-TTR-2 Omvänd tre ögon: U-TR30-2, U-TR30IR (infraröd observation) Omvända ögon: U-BI30-2 Omvända, lutande ögon: U-TBI30
	Ultrabredt perspektiv （FN 26.5 mm）	MX-SWETTR Spektralförhållande 100%: 0 eller 0: 100%) U-SWETTR Spektralförhållande 100%: 0 eller 20%: 80%) Översikt: U-SWTR-3
Objektivomvandlare		6-håls elektrisk omvandlare med DIC-slot: U-D6REMC Ledigt fält femhåls omvandlare med DIC automatisk centreringsplats: U-P5REMC 6-håls elektrisk omvandlare med DIC-slot: U-D6BDREMC ljus mörk fält fem hål omvandlare med DIC-plats: U-D5BDREMC ljus mörk fält femhåls omvandlare med DIC automatisk centreringsplats: U-P5BDREMC
Lastplats		Inbyggd kopplingsdriv, koaxialt högerhåndtag: MX-SIC8R Sträcka: 210 x 210 mm Ljusdragningsområde: 189 x 189 mm Inbyggd kopplingsdriv, koaxialt högerhåndtag: MX-SIC6R2 Sträcka: 158 x 158 mm (med reflekterat ljus)	Inbyggd kopplingsdriv, koaxialt högerhåndtag: MX-SIC1412R2 Sträcka: 356 x 305 mm Ljusdragningsområde: 356 x 284 mm
Vikt		Omkring: 35,6 kg (mikroskop stativ 26 kg)	Cirka: 44 kg (28,5 kg för mikroskop)

Obs: Parametertabellen innehåller huvudsakliga parametrar, faktiskaBaserat påbehoven konfigureras.