Syftet med underhåll av ICP:
1) upptäcka fel i instrumentet i tid;
2) undersöka instrumentets dolda faror, upptäcka dem i tid och föreslå förebyggande åtgärder;
3) genom underhåll av instrumentet, förbättra instrumentets känslighet och förlänga instrumentets livslängd;
4) öka instrumentets stabilitet för att säkerställa noggrannheten i testdata;
Innehållet i underhåll av ICP-instrument:
1) Rensa all kretskort, fläkt och instrument yta damm
2) Rengöring av förståsaren, förståsningskammaren, belysningskonen och brännröret
3) Byt kylvatten, rengör rörledningen
4) Vakuumrör koppling, elektromagnetventil brytare täthet kontroll justera strålen slits läge
5) Vakuumpumpprestandakontroll, byte av pumpolja, tätningsring, molekylsikt
6) Kontrollera att det inte finns läckage mellan cylindern och ICP
7) Kontrollera instrumentets gas, gas-sensor, rengöring
8) RF högfrekvent generator dammförvaring underhåll, vakuum kammare underhåll
9) Besvara användarens problem