Produktegenskaper:
1, maskinhuset använder kallvalsade platta färg behandling, inre gall är tillverkad av rostfritt stål 316L material; Värmaren är jämnt fördelad runt den inre gallans yttre vägg, utan elektriska tillbehör och brännbara explosiva enheter i den inre gallan. Hårdad, bulletproof dubbel glasdörr observera objekt i studion med en ögonblick.
2, lådan dörr stängning lös sträng justering, helhetsformning silikon gummi dörr tätning, säkerställa hög vakuum i lådan.
3, mikrodator intelligent termometer, med inställning, mätning av temperatur dubbel digital skärm och PID självanpassningsfunktion, temperaturkontroll exakt och tillförlitlig.
Intelligent pekskärmskontrollsystem med japansk Mitsubishi PLC-modul kan användare ändra program, temperatur, vakuum och varje programtid enligt olika processförhållanden.
5, HMDS gas stängd typ automatisk sugning lägga till design, vakuum låda tätning prestanda, säkerställa att HMDS gas utan läckage oro.
Hela systemet är tillverkat av material, inget dammmaterial, lämpligt för 100 graders ljus runt rengöring av miljön.

Tillbehör:
Vakuumpump: Tyskt varumärke, Leipzig "DC" bipolar serie roterande oljepumpar, hög gränsvakuum, lågt buller och stabil drift.
Anslutningsrör: Rör i rostfritt stål, helt tätt för att ansluta vakuumpumpen till ugnen.

Behovet av HMDS förbehandlingssystem:
I halvledarproduktionsprocessen är litografi en viktig process för överföring av integrerad krets grafik, kvaliteten på limning påverkar direkt kvaliteten på litografi, och limningsprocessen är också särskilt viktig. Den överväldigande majoriteten av fotografisk lim är hydrofob, och hydroxy och resterande vattenmolekyler på silikon ytan är hydrofila, vilket orsakar dålig limfasthet av fotografisk lim och silikon, särskilt positiv lim, när fotografisk vätska kommer att tränga in i anslutningen av fotografisk lim och silikon, lätt att orsaka driftband, flytande lim och så vidare, vilket leder till misslyckande av fotografisk överföring, samtidigt som våtkorosion är lätt att förekomma sidokorosion. Adhesivet HMDS (hexametyldisilanatan) kan förbättra detta tillstånd mycket bra. Efter att HMDS har beläggits på silikon ytan, kan ugnen uppvärmas för att reagera för att generera en förening som består av silikon. Det har framgångsrikt omvandlat silikonytan från hydrofil till hydrofob, dess hydrofoba bas kan vara bra bunden till fotograv och spelar rollen som kopplingsmedel.

Principen för HMDS vakuum ugn:
HMDS förbehandlingssystem genom att förbehandla ugnen HMDS förbehandlingsprocess arbetstemperatur, behandlingstid, behandlingstid och andra parametrar kan i silikon, substrat yta jämnt belägga ett skikt av HMDS, minska HMDS behandling av silikon kontaktvinkel, minska användningen av fotografisk lim, förbättra fotografisk lim och adhesivitet av silikon.

Allmänna arbetsflöden för HMDS vakuumuugnar:
Bestäm först ugnens arbetstemperatur. Den typiska förbehandlingsprocessen är: öppna vakuumpumpen för att pumpa vakuum, vänta på att vakuum i hålet når en viss hög vakuumgrad, börja fylla kväve, ladda upp en viss låg vakuumgrad, pumpa vakuum igen, ladda kväve, efter att ha nått det inställda antalet laddningar av kväve, börja behålla en viss tid, så att silikon värms upp fullt ut, minska fukten på silikon ytan. Börja sedan pumpa vakuum igen, fyll HMDS-gasen, sluta fylla HMDS-vätskan efter att ha nått inställd tid och gå in i underhållsfasen så att silikontabletten reagerar fullt ut med HMDS. När den inställda hålltiden har nåtts börjar du pumpa vakuum igen. Fyll i kväve för att slutföra hela arbetsprocessen. HMDS och silikon reaktionsmekanismen är enligt bilden: först uppvärms till 100 ° C-200 ° C, ta bort fukten från silikon ytan, sedan HMDS och OH-reaktionen på ytan, genererar silikon eter i silikon ytan, eliminerar vätebindelsen, vilket gör den polära ytan till en icke-polär yta. Hela reaktionen fortsätter tills spatial bitblockering (större trimetylsilakyl) förhindrar ytterligare reaktion.

Utsläpp av avgaser och så vidare: Överskottet av HMDS-ånga (avgaser) pumpas ut av vakuumpumpen och släpps ut till en speciell avgasinsamlingsledning. Särskild behandling är nödvändig när det inte finns särskilda avgasinsamlingsrör.

Kallvalsad färg