Filmtjockleksstyrare-Global leverantör

401, fj?rde v?ningen, byggnad 5, Zhengzhou Yida Science and Technology New City, Jingchang Street, Zhengzhou

Detaljerad beskrivning:

Filmtjockleksstyrare

Tekniska egenskaper:

1. Full beröringsskärm, enkel att använda;

2.32En membran, varje membran50/100Skikt automatisk beläggning;

3. 12vägsignalingång/12Vägbrytaren utgång;

4. Helautomatiska, halvautomatiska och manuella styrlägen;

5.Kontrollerbar2en källa, en uppsättning arbete en annan uppsättning förlösning;

Tekniska parametrar

	CY-FDC-S-kontroller
Kristallvibrationsfrekvens	6MHz (valfri 2,5M 3M 5M 9M kristall)
Visningssätt	5 "färg pekskärm + digital rör skärm hastighet och verklig tjocklek
Arbetssätt	pekskärm
slut tjocklek	00μ0000Å-99μ9999Å
Tjockleksupplösning	1Å/s
Visningshastighet Upplösning	0.1Å/s
Antal beläggningslager	32 membransystem, varje membransystem 50/100 lager;
Antal sonder	A B
Verktygsfaktorer	0.01-99.99
Tidsvisning	00:00:00-23:59:59 H:M:S
Strömvisning	0～99.9%
Försmältningskraft	0～99%
Förbeläggningskraft	0～99.9%
Försmältningstid / Förbeläggningstid	0～99:99 m:s
Försmältning isoleringstid / Förvärmningstid	0～99:99 m:s
Beläggningshastighet (inställd hastighet)	0～999.9Å/s
Förvaring av material	257+ anpassade 10
kommunikation	RS232/RS485
Kontrollerbar förångningskälla	2, kan en uppsättning arbeta en annan uppsättning förlösning
Utgångskontroll	±10V/5V/2.5V
I/gränssnitt	12 signalingångar/12 växlingsutgångar
Antal styrbara tigglar	1-16 stycken
Beläggningsvisning	Hastighetskurva/värde
Antal beläggningsrundor	50/100 lager per membran automatiskt
Höljestorlek	480 × 280 × 89mm (2U 19" hölje)

Särskilda funktioner:

1Manuell, halvautomatisk, automatisk3En typ av beläggningsläge för att möta olika beläggningsmaskinkonfigurationer;

2Manuell stopp beläggning: manuell stopp beläggning under beläggningsprocessen;

3Manuell kontroll: bestämma kraven på den första beläggningsprocessen;

4Avbrytningsfilm: automatisk och halvautomatisk beläggning upptäckt problem eller fel, kan stoppa beläggningen och kan automatiskt spara det nuvarande tillståndet, efter fel **, kan fortsätta beläggningen från avbrytningsfilm;

5Automatisk eller halvautomatisk beläggning, om kristallvibrationsfel, kan du välja att trycka på avslutande beläggning, beläggning enligt aktuell effekttid, byte chip fortsätta (multi-chip-sond);

6Två källor samtidigt försmälta: i början av den nuvarande skiktet beläggning, kan du välja att samtidigt2Skiktet försmeltas för att möta tidskrävande tillfällen;

7Lösenordsskydd: membransystem och membranskiktsparameters lösenordsskyddsfunktion, skydda processparametrar från att ändras av icke-processpersonal;

8Beläggningsdataregistrering: automatisk eller halvautomatisk beläggning, kan systemet registrera filmbildningstiden för varje skikt, * parametrar för den slutliga tjocklekshastigheten.