Styrningsalgoritmen ger stabil divergentstyrning genom att styra flödesförhållandet, samtidigt som uppströmströmstrycket i FS-3000 styrs med hjälp av HORIBA STEC-styroptimeringsteknik. Dessutom kan kontrollalgoritmen uppnå ett snabbt svar på divergenten även om divergentförhållandet förändras.

• Förbättra skalbarhet och underhållsprestativa. FS-3000 kan separera upp till 15 kanaler genom höghastighetssignalbehandling. Om MFC är fel behöver du bara byta ut den fel från maskinen.

• Specifikationer för flexibel respons FS-3000 stöder flera olika gaser, inklusive blandningar av gaser. Dessutom stöder FS-3000 användargränssnitt som RS-485 och DeviceNet.