Atonarp Processkontroll Massspektrometer Aston ™ Tekniska specifikationer:

Universella verktyg för realtidsprocesskontroll, korrosionsbeständiga gaser, kondensationsbeständiga
Plattform för in situ molekylär analys för halvledartillverkning som ger realtids, hanterbara data
Plasma joniseringskälla, trådlös, mer hållbar
Fullt integrerbar med massproduktionsverktyg
Aston ™ ProcessspektrumanalysatorSom en kraftfull plattform kan den ersätta flera traditionella verktyg, vilket ger en oöverträffad nivå av kontroll, inklusive litografi, elektromagnetisk och ledande etsning och nedsättning, kammarrengöring, kammarmatchning och upplösning.

Aston ™ ProcessspektrumanalysatorTekniska parametrar

Atonarp Aston™ Tillämpningar: Viktig utveckling av processkontroll och optimering av halvledarprocesser för att förbättra produktivitet, genomströmning och effektivitet i halvledartillverkningsprocesser
Aston ™ Det är en helt ny, robust och kompakt onlinemassspektrometer som är lämplig för övervakning och kontroll av gaser i halvledartillverkning och industriella processstyrningsapplikationer, kombinerar hög kvantitativ precision och realtid med produktionsstabilitet och tillförlitlighet, till exempel analys av utsläppsdetektion av torra halvledarpumpar, möjliggör onlineövervakning och diagnostik.
CVD / ALD: Oxid-nitrogen övergång och sammansättningsanalys
Etch/ALE End Point :<0.3%
Chamber Matching: Identifiera spårningsmolekyler


Om du behöver mer informationAtonarp Aston ™ Online massspektrometerFör mer information eller diskussion, se följande kontaktuppgifter:
Shanghai Betong: Fröken Ye Taiwan Betong: Fröken Wang
T: +86-21-5046-3511 ext 109 T: +886-3-567-9508 ext 161
F: +86-21-5046-1490 F: +886-3-567-0049
M: +86 1391-883-7267 ( WeChat samma nummer ) M: +886-939-653-958

För närvarande är vissa varumärken anställda samarbetsagenter, intresserade är välkomna att kontakta Shanghai Betong Ye Miss 1391-883-7267
Shanghai Betong upphovsrätt, kopiera!